| Трихлорсилан | |
|---|---|
 | |
| Общие | |
| Хим. формула | SiHCl3 |
| Физические свойства | |
| Молярная масса | 135.45 г/моль |
| Плотность | 1.342 г/см³ |
| Термические свойства | |
| Температура | |
| • плавления | −126.6 °C |
| • кипения | 31.8 °C |
| Классификация | |
| Рег. номер CAS | 10025-78-2 |
| PubChem | 24811 |
| Рег. номер EINECS | 233-042-5 |
| SMILES | |
| InChI | |
| RTECS | VV5950000 |
| Номер ООН | 1295 |
| ChemSpider | 23196 |
| Безопасность | |
| NFPA 704 | |
| Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное. | |
 Медиафайлы на Викискладе | |
Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.
Внешний вид и свойства
Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.
Применение
Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.
Производство
Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. К 2010 году трихлорсилан производился на четырёх российских предприятиях в Усолье-Сибирском (завод «Усольехимпром» закрыт в 2017 году, по состоянию на 2023 год проводятся работы по утилизации опасных материалов, включая трихлорсилан[1]), Новосибирске (ООО «Альфагаз»), Дзержинске (ООО «Фирма „ХОРСТ“»), Новочебоксарске[2] и на Украине, в Запорожье.
Примечания
- ↑
Катастрофа в Усолье-Сибирском: как ликвидируют сибирский "Чернобыль"?
- ↑ Компания GCL-Poly подписала новые контракты на приобретение оборудования и ноу-хау у компании GT Solar. Новости. Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Дата обращения: 25 ноября 2023. Архивировано из оригинала 30 марта 2012 года.
Эта страница в последний раз была отредактирована 25 ноября 2023 в 01:58.
Обычно почти сразу, изредка в течении часа.